évaporateurs et plasma cleaner

Appareil compact avec système de pompage intégré, y compris pompe turbomoléculaire haute capacité et haute vitesse, pompe à palettes.

Source d'évaporation de carbone par crayons, type dual Bradley (double tête d'évaporation pour crayons de carbone de diamètre 6.2 mm)

Chambre métallique (diamètre 300 mm et hauteur 200 mm), entièrement en acier inoxydable

Moniteur d'épaisseur à microbalance à quartz

évaporateur carbone (@ I. Di Carlo)
Contact: Patricia Benoist (02 38 49 25 36)
  • Crayons de carbone à taille cylindrique pour un dépôt homogène.

    Pompe turbomoléculaire pour optimiser la qualité du dépôt.

    Chambre cylindrique en verre (Ø : 150 mm, h : 150 mm).

    Contrôleur d'épaisseur à microbalance à quartz.

Evaporateur carbone 208 (@ I.Di Carlo)

Contact: Dr. Ida Di Carlo (06 27 75 54 99)

  • Cible (Ø : 57 mm) à changement rapide (Cr, Pt-Pd).

    Turbo drag pump pour une meilleure pureté du plasma.

    Chambre cylindrique en verre (Ø : 150 mm, h : 150 mm).

    Plateforme rotative inclinable à mouvement planétaire pour un dépôt fin et régulier sur le relief de l'échantillon.

  • Moniteur d'épaisseur à microbalance à quartz.

  • Séquence de dépôt entièrement automatique.

Métalliseur à pulvérisation cathodique (@I. DI Carlo)
Contact: Dr. Ida Di Carlo (06 27 75 54 99)
Plasma cleaner colibri de gambetti (@ Gambetti)
Contact: Dr. Ida Di Carlo (06 27 75 54 99)